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真空系统快盈lll严密性差是一个普遍存在的问题，空冷机组的真空容积庞大、安装焊口多容易造成真空系统泄漏量大，从而影响空冷机组真空系统的严密性，导致机组运行背压升高、煤耗增大、带负荷的能力降低。
真空系统严密性差的解决方法：进行真空衰减试验，雅之雷德机电科技介绍两种真空衰减试验的方法:
快盈lll(1)关闭抽真空系统的抽气阀并确保关闭严实，每分钟记录:排汽压力、排汽温度。打开相应的抽真空系统的抽气阀。进行实验的时间一般为10~15min。根据经验，通常的压力上升的速度为0.1kPa/min,
快盈lll(2)关闭抽真空系统的抽气阀并确保关闭严实;记录排汽压力的实际数值;隔10~15 min后记录一次数值;打开相应的抽真空气系统的抽气阀;测量达到原先的排汽压力值所用的时间。达到原先的排汽压力的时间，应是大约一半的真空衰减时间。
所有的测量方法都是以运行条件恒定不变为前提的，特别是供给空气冷凝器的蒸汽量应是恒定不变的。如果真空系统的空气泄漏率大于设计值，应用超声波检漏仪进行检漏，所发现的漏点应尽快消除。
快盈lll常用的排气系统为油扩散泵排气系统和涡轮分子泵排气系统，主要组成为前级泵(机械泵、罗茨真空泵等)粗抽，然后利用主泵(油扩散泵、分子泵等)，配置必要的真空管道、一定高真空阀门、所需的真空计(电阻真空计、电离真空计、B-A真空计等〕把真空度抽至高真空。当利用油扩散泵时，还需要加一挡油阱，防止泵油对真空器件内部系统的污染，排气结束后，真空度能达到10-6pa，可以满足微波管的使用要求。为了提高微波管排气时的真空度，减少在后工序的放气量，我们利用溅射离子泵对微波管的排气，排气结束后真空度可以达到2x10-7Pa。排气结束后，微波管和排气系统进行冷封离，在封离过程中机械挤压使金属零件放气，同时微波管在放置一段时间后，由于其本身的高真空，内部材料会进行放气，从而降低了管内的真空度.这时我们利用了一种小离子泵(俗称钛泵)保证内部的真空度，同时在微波管老炼、测试等工序中，管内零件经过高速电子束的轰击会产生放气，需要钛泵进行抽除. 钛泵的电流还具有检测微波管内部真空度的作用.
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